离子渗氮设备包括离子渗氮炉、辅佐设备和工艺配备。

　　1.分类

　　离子渗氮炉按炉型分为堆积工件的钟罩式炉，吊挂工件的井式炉和侧端开门的卧式炉。我国学者刘志德在20世纪80年代初次开发了卧式和立式结合的多室炉新炉型，成功地用于离子渗碳和离子渗氮。离子渗氮炉按加热方法可分为冷壁结构和热壁结构两类。前期离子渗氮炉多为冷壁结构，工件温度不均，测温不准是设备弊端。跟着近年来大多选用热壁结构，上述缺点根本得到处理，结构更加完善，能够分区控温并进行对流均热和快速冷却;脉冲直流电源处理合理功率匹配供电，并有效限制弧光放电和空心阴极放电，实现密装炉和改进温度均匀性。

　　(1)冷壁炉

　　一般冷壁离子氮化炉选用双层水冷壁，内设双层隔热屏，隔热削减热损失，隔热屏内壁温度一般在100~150℃，工件与内壁温差在350~400℃，温差大、热损失大是造成工件温度不均匀的重要原因，靠合理装炉可调整工件温度均匀性。

　　一般冷壁炉炉温不均，上低下高，外低内高，假如选用冷氨供气，由于氨分化吸热更加剧了工件温度不均，因而合理装炉和正确供气，对冷壁炉满装炉和长工件能够改进温度均匀性。关于单件或小批量出产，可利用冷壁炉内炉温不均和炉温散布特色处理不同质量要求的不同工件。

　　通过改进的冷壁离子渗氮炉和选用完备的技能保证，也可达到先进设备水平，德国Nitrion技能公司具有三十多年冷壁炉制造和运用经历，正在全球推销冷壁离子渗氮设备和技能。

　　(2)保温式热壁炉

　　双层水冷壁内去掉隔热屏，改为耐火材料保温层，由于保温层蓄热和隔热，使炉内保温层内壁表面温度达到300~450℃，大大削减了与工件之间的温差，实用结果大大改进了工件温度均匀性。

　　(3)辅佐加热式热壁炉

　　在真空室内或外设置辅佐电阻加热源，用以加热工件和调整工件温度，是目前最常用的热壁炉。咱们研发了一种辅佐阴极元件加热的可调温的热壁炉对改造国内近千台老式冷壁离子渗氮炉，达到挨近辅佐电阻加热的热壁炉的效果，有推行价值。