离子渗氮的渗氮温度和气体渗氮根本相同，一般为500~540℃，不同材料渗氮硬度与温度之间均有一最佳对应值，一般在450~ 540℃之间。当温度高于590℃时，会因氮化物的积累而使硬度明显下降。

　　升温速度首要取决于工件表面的电流密度、工件体积与发生辉光的表面积之比以及工件的复杂程度与散热条件等。为减少变形，升温速度不宜过快，一般为150~250℃/h。保温温度要安稳，动摇要小。保温温度的安稳性与炉压及电压有亲近的关系，经过安稳炉压来安稳电流密度，从而进步保温温度的安稳性;经过安稳电压来安稳电流密度，从而进步保温温度的安稳性。

　  渗氮的保温时间取决于渗氮件的材料以及渗氮层的厚度和硬度要求，保温时间从几十分钟到几十小时。当渗氮时间在20h以内时，离子渗氮的速度明显大于气体渗氮，当渗氮时间在20h以上时，两种渗氮的速度挨近。可见，在处理渗氮层小于0.5mm的工件时，用离子渗氮是最合适的。当渗氮层深度为0.2~0. 5mm时，一般保温8～20h即可。